全自動(dòng)清洗機(jī)采購(gòu)信息公示

一、項(xiàng)目概況

（一）項(xiàng)目編號(hào)：****

（二）項(xiàng)目名稱：全自動(dòng)清洗機(jī)

（三）項(xiàng)目?jī)?nèi)容及需求：

1、 數(shù)量：1套。

2、 交期：90日歷天。

3、 技術(shù)要求：

（1） 適應(yīng)8寸標(biāo)準(zhǔn)劃片后晶圓，帶UV膜和金屬框架（見附圖），用戶提供結(jié)構(gòu)圖紙或者樣品。

（2） 晶圓傳輸方式：專用料盒cassette、采用折臂式機(jī)械手自動(dòng)傳輸，干進(jìn)干出，機(jī)械手重復(fù)精度：X，Y，θ≤±0.1mm，傳送過(guò)程中晶圓采用夾持方式，保證傳輸過(guò)程無(wú)異常掉片現(xiàn)象。

（3） 自動(dòng)上下料盒機(jī)構(gòu)，8英寸專用料盒cassette，上下料使用2個(gè)專用料盒Scassette，用戶提供專用料盒。

（4） 機(jī)臺(tái)運(yùn)行流程：上料專用料盒→機(jī)械手自動(dòng)掃描→機(jī)械手自動(dòng)取片→機(jī)械手放片至清洗腔→工藝完成后機(jī)械手取片至下料位→下料專用料盒。

（5） 去膠清洗工藝流程：ACE/EKC+N2二流體清洗正面→IPA沖洗正面→DIW+N2二流體清洗正面、DIW沖洗背面→IPA沖洗正面→離心甩干+N2干燥正面、背面。

（6） 晶圓定位方式：主軸系統(tǒng)微孔陶瓷吸盤固定，邊緣立柱定位。

（7） 主軸轉(zhuǎn)速范圍：50rpm～ 3000rpm，±3rpm。

（8） 化學(xué)液種類：一種是ACE/EKC溶液；一種是IPA溶液。第三條溶液管路備選。

二、資格要求

（一）必須符合《政府采購(gòu)法》第二十二條規(guī)定的條件：

1、具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任的能力。

2、具有良好的商業(yè)信譽(yù)和健全的財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)制度。

3、具有履行合同所必需的設(shè)備和專業(yè)技術(shù)能力。

4、有依法繳納稅收和社會(huì)保障資金的良好記錄。

5、法律、行政法規(guī)規(guī)定的其他條件。

6、需提供參加本項(xiàng)目投標(biāo)活動(dòng)前三年內(nèi)，在經(jīng)營(yíng)活動(dòng)中無(wú)重大違法、違規(guī)記錄、重大安全生產(chǎn)事故的聲明。

7、未被列入“信用中國(guó)”網(wǎng)站(www.creditchina.gov.cn )失信被執(zhí)行人、重大稅收違法案件當(dāng)事人名單、政府采購(gòu)嚴(yán)重違法失信行為記錄名單和“中國(guó)政府采購(gòu)網(wǎng)”（www.ccgp.gov.cn ）政府采購(gòu)嚴(yán)重違法失信行為記錄名單，提供網(wǎng)上查詢結(jié)果記錄（查詢?nèi)掌谠诎l(fā)布公告之后），截圖打印。

以上證明資料統(tǒng)一發(fā)至****@guide-infrared.com，并抄送至審計(jì)郵箱****@guide-infrared.com。

（二）特定資格要求：

1、參與企業(yè)為貨物的生產(chǎn)商（從事行業(yè)經(jīng)驗(yàn)1年以上）或代理商（代理時(shí)間不少于1年），公司注冊(cè)資金≥100萬(wàn)。

2、本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。

3、參與企事業(yè)單位必須具備相應(yīng)資質(zhì)的質(zhì)量保證能力。

三、供應(yīng)商資料遞交截止時(shí)間和地點(diǎn)

（一）截止時(shí)間：2025-8-11 12:00

（二）地點(diǎn)：武漢市****

四、聯(lián)系事項(xiàng)

商務(wù)聯(lián)系人：翟智鵬 電話：****

技術(shù)聯(lián)系人：黃工 電話：****

電話：****

郵箱：****@guide-infrared.com

網(wǎng)絡(luò)舉報(bào)二維碼：

2、黨委辦公室：

電話：****

郵箱：****@163.com