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點(diǎn)擊登錄查看先進(jìn)能源學(xué)院無(wú)掩膜紫外光刻機(jī)設(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目
發(fā)布時(shí)間： **** 16:50
| 項(xiàng)目概況
| 采購(gòu)類型 | 采購(gòu) | ||
| 項(xiàng)目編號(hào) | **** | ||
| 項(xiàng)目名稱 | 點(diǎn)擊登錄查看先進(jìn)能源學(xué)院無(wú)掩膜紫外光刻機(jī)設(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目 | ||
| 申購(gòu)主題 | 無(wú)掩膜紫外光刻機(jī) | ||
| 項(xiàng)目類型 | 貨物采購(gòu) | 項(xiàng)目預(yù)算 | |
| 最高限價(jià) | 800,000.00(人民幣) | ||
| 報(bào)名及響應(yīng)開始時(shí)間 | **** 16:50 | 報(bào)名及響應(yīng)結(jié)束時(shí)間 | **** 09:00 |
| 采購(gòu)單位 | 點(diǎn)擊登錄查看 | ||
| 經(jīng)辦人 | 點(diǎn)擊登錄查看 | 經(jīng)辦人電話 | **** |
| 期望收貨時(shí)間 | 合同簽訂后30天交貨 | ||
| 是否送貨 | 是 | 送貨地址 | 廣東省深圳市****點(diǎn)擊登錄查看深圳校區(qū)工學(xué)園1-513 |
| 電子簽章 | 本項(xiàng)目需要使用CA簽字 CA操作手冊(cè)下載 | ||
| 備注 | 1、本項(xiàng)目不允許產(chǎn)自中華人民共和國(guó)關(guān)境外的進(jìn)口貨物報(bào)價(jià)，否則報(bào)價(jià)無(wú)效；2、國(guó)內(nèi)供貨請(qǐng)報(bào)含稅人民幣價(jià)；3、本項(xiàng)目學(xué)校不收 取任何費(fèi)用。4、本項(xiàng)目需要使用CA證書，請(qǐng)供應(yīng)商根據(jù)指引（http:****。 5、 5、技術(shù)參數(shù)中如標(biāo)注有“★”號(hào)的條款必須實(shí)質(zhì)性響應(yīng)，負(fù)偏離（不滿足要求）將導(dǎo)致報(bào)價(jià)無(wú)效。 | ||
| 采購(gòu)明細(xì)
| 1 采購(gòu)設(shè)備 | 無(wú)掩膜紫外光刻機(jī) |
| 數(shù)量 | 1臺(tái) |
| 參考品牌 |
“無(wú)掩膜紫外光刻機(jī)”技術(shù)要求
| 序號(hào) | 技術(shù)要求內(nèi)容 | 評(píng)分等級(jí) | 是否星號(hào)條款 | 是否需要附件說(shuō)明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | ★1、光刻精度：至少支持兩個(gè)光刻鏡頭：光刻鏡頭1：最小線寬不大于1.2 μm，工作距離≥19 mm；光刻鏡頭2：最小線寬不大于0.8 μm，工作距離≥12 mm | 重要 | 是 | 是 |
| 2 | 2、具備交互式套刻指引功能：支持實(shí)時(shí)光刻圖形的預(yù)覽 | 重要 | 否 | 否 |
| 3 | ▲3、具備圖像識(shí)別對(duì)焦功能 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 4 | ▲4、支持光刻鏡頭電動(dòng)切換 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 5 | 5、曝光波長(zhǎng)：380 nm | 重要 | 否 | 否 |
| 6 | 6、數(shù)字掩模板分辨率：≥1920 1080，微鏡尺寸≤7.6 μm | 重要 | 否 | 否 |
| 7 | 7、顯微觀測(cè)：支持顯微觀測(cè)且不會(huì)引起光刻膠變性 | 重要 | 否 | 否 |
| 8 | 8、可支持的最大樣品厚度：≥10 mm | 重要 | 否 | 否 |
| 9 | ▲9、最大曝光面積：≥150 mm 150 mm | 非常重要 | 否 | 是 |
| 10 | ▲10、支持樣品電動(dòng)旋轉(zhuǎn) | 非常重要 | 否 | 是 |
| 11 | 11、樣品臺(tái)精度：絕對(duì)定位精度±0.5 μm，雙向重復(fù)定位精度±0.25 μm | 重要 | 否 | 否 |
| 12 | 12、樣品吸附：支持樣品吸附 | 重要 | 否 | 否 |
| 13 | ▲13、輔助功能： 原位光繪功能：支持原位繪制光刻圖形； 物像綁定功能：支持樣品圖形和光刻圖形綁定，實(shí)時(shí)對(duì)應(yīng)； 成像拼接功能：支持樣品圖形的大范圍拼接，實(shí)現(xiàn)大范圍樣品查找； 畸變矯正功能：支持光刻圖形算法畸變矯正，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)套刻 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 14 | 14、畫圖功能：支持陣列畫圖、套刻畫圖 | 重要 | 否 | 否 |
| 15 | ▲15、軟件及其功能：配套中文版操作軟件 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 16 | ▲16、配置清單：(1)無(wú)掩膜紫外光刻機(jī)主機(jī)（380 nm光源）1套、光刻機(jī)配套中文版操作軟件1套；(2)工作站1套（配置不低于i5-14500 14核/16G DDR5/512G SSD/27寸顯示器）、有線鍵鼠一套；(3)物鏡3顆（1顆觀測(cè)鏡頭、2顆光刻鏡頭）；(4)光電分離機(jī)箱2個(gè)；(5)氣泵1個(gè)；(6)工具及附件1套（公制內(nèi)六角扳手、英制內(nèi)六角扳手、磁吸小燈帶背膠、理線管5米：1根、螺絲刀套裝、U盤）；(7)光學(xué)平臺(tái)1個(gè)：尺寸不低于68cm（長(zhǎng)）x68cm（寬）x78cm（高）；(8)機(jī)柜1個(gè)：尺寸不低于75cm（長(zhǎng)）x60cm（寬）x95cm（高） | 非常重要 | 否 | 是 |
| 資質(zhì)要求
| 序號(hào) | 要求名稱 | 條件類型 | 要求內(nèi)容 | 是否需要附件說(shuō)明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 第1條資質(zhì)參數(shù) | 符合性參數(shù) | 上傳營(yíng)業(yè)執(zhí)照(副本原件掃描件) | 是 |
| 2 | 第2條資質(zhì)參數(shù) | 符合性參數(shù) | 填寫并按要求上傳“廉潔承諾書”（需簽字并蓋公章） | 是 |
| 3 | 第3條資質(zhì)參數(shù) | 符合性參數(shù) | 填寫并要求上傳“法定代表人授權(quán)書”（需按授權(quán)書要求簽字并加蓋公章） | 是 |
| 4 | 第4條資質(zhì)參數(shù) | 符合性參數(shù) | 填寫并按要求上傳“供應(yīng)商資格聲明”（需簽字并蓋公章） | 是 |
| 商務(wù)要求
| 序號(hào) | 要求名稱 | 要求內(nèi)容 | 是否需要附件說(shuō)明 |
|---|---|---|---|
| 1 | 免費(fèi)保修年限 | 2年 3年 4年 5年及以上 | 是 |
| 2 | 合同履約 | 該項(xiàng)目必須嚴(yán)格按學(xué)校合同范本執(zhí)行 下載地址：http:****:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意： （1）合同模板中付款方式適用分期結(jié)算/付款條款 其它付款方式選項(xiàng)不得選用； （2）本項(xiàng)目簽署《點(diǎn)擊登錄查看國(guó)內(nèi)采購(gòu)合同》的需開具增值稅專用發(fā)票，如無(wú)法開具，需在簽署合同時(shí)提供合理說(shuō)明，否則將可能會(huì)影響合同簽署。 | 否 |
| 3 | 產(chǎn)品銷售渠道（要求上傳“制造廠商出具的授權(quán)函”） | 廠家（生產(chǎn)商）直接銷售（出具廠家聲明格式自擬） 廠家（生產(chǎn)商）長(zhǎng)期授權(quán)銷售（授權(quán)書中連續(xù)有效期不少于一年） 其他授權(quán)銷售方式 | 是 |
| 4 | 售后服務(wù)要求 | 1、在保修期內(nèi)，當(dāng)設(shè)備發(fā)生故障、買方不能自行解決時(shí)，賣方在接到買方的通知后：（1）在24小時(shí)內(nèi)響應(yīng)；（2）72小時(shí)內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)，并盡快予以解決；（3）一般故障7天內(nèi)解決（重大故障除外）。 2、超過(guò)保修期后，如合同設(shè)備發(fā)生故障，買方要求賣方對(duì)設(shè)備進(jìn)行檢查、維修時(shí)，賣方在接到買方的通知后：（1）在24小時(shí)內(nèi)響應(yīng)；（2）在72小時(shí)內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)，并盡快予以解決； | 是 |
| 5 | 培訓(xùn)要求 | 1、賣方負(fù)責(zé)對(duì)儀器進(jìn)行安裝調(diào)試，并對(duì)儀器操作人員進(jìn)行技術(shù)培訓(xùn)。 2、培訓(xùn)人員：不少于2人； 3、培訓(xùn)時(shí)間：2天； 4、培訓(xùn)內(nèi)容：儀器的測(cè)量原理、基本性能和用途、儀器操作、儀器維護(hù)等。 | 是 |
| 6 | 保修范圍 | 1、保修期內(nèi)的保修內(nèi)容與范圍：（1）整機(jī)保修，在保修期內(nèi)出現(xiàn)屬于合同設(shè)備原因的故障，賣方負(fù)責(zé)無(wú)償修理及免費(fèi)提供備件（除耗材外）。 2、超過(guò)保修期后的保修內(nèi)容與范圍：保修期外的涉及到零部件出現(xiàn)故障，賣方需按成本價(jià)加必要的人工等其他費(fèi)用提供優(yōu)惠報(bào)價(jià)。 | 是 |
