當前位置：
2.設(shè)備工程范圍包含成套設(shè)備的交鑰匙工程，包含濺射機5臺，合同期內(nèi)如有需求，以訂單為準。
2.漏率：①極限真空后追蹤30min（不開冷阱閥），漏率≤1.0Pa*L/s；
②極限真空后追蹤60min（開冷阱閥），漏率≤1.0Pa*L/s；
3.抽速：漏率測試后，開門2min，關(guān)門抽氣4min，真空度≤1.0E-2Pa；
4.數(shù)據(jù)存儲：工藝記錄與曲線顯示與工藝同步，可查詢歷史數(shù)據(jù)，每秒記錄一次；
5.數(shù)據(jù)顯示：真空度顯示2位小數(shù)，濺射電壓顯示整數(shù)，濺射電流顯示1位小數(shù)，轟擊電壓顯示整數(shù)，轟擊電流顯示2位小數(shù)，其他顯示1位小數(shù)；
6.數(shù)據(jù)導(dǎo)出：工藝過程數(shù)據(jù)可導(dǎo)出csv格式，方便追溯；
7.趨勢曲線：查詢歷史曲線，顯示鼠標所在位置數(shù)值（真空度、氣體流量、硅油流量、電壓、電流、功率、爐溫）；
8.周期統(tǒng)計：自動統(tǒng)計左右門生產(chǎn)周期，可導(dǎo)出Excel文件，表頭包括工藝名稱，起始時間、結(jié)束時間，每爐用時；
9.遠程控制：可遠程控制，查看設(shè)備運行情況或程序升級；
10.互鎖功能：粗抽閥與前置閥互鎖、維持泵閥與前置閥互鎖；
充氣閥與粗抽閥、冷阱閥、高閥、羅茨泵等互鎖，上述閥門關(guān)閉后、羅茨泵降頻才能充氣；
粗抽閥、高閥、冷阱閥等與真空計實現(xiàn)程序保護功能，真空度不到，閥門不動作。
否決項：
1.供應(yīng)商需要對所有技術(shù)條款提供有針對性的實現(xiàn)方案，并確認響應(yīng)或偏離，如不提供，我方有權(quán)否決；
2.主材清單需要明確具體品牌、型號和數(shù)量，否則我方有權(quán)否決；
3.供應(yīng)商提供的技術(shù)方案和參數(shù)不滿足本項目要求，我方有權(quán)否決；
主要參數(shù)：1）極限真空：常溫下空載測試，連續(xù)排氣12h，真空度小于等于1.0E-4Pa；
2）漏率：①極限真空后追蹤30min（不開冷阱閥），漏率≤1.0Pa*L/s；
②極限真空后追蹤60min（開冷阱閥），漏率≤1.0Pa*L/s；
3）抽速：漏率測試后，開門2min，關(guān)門抽氣4min，真空度≤1.0E-2Pa；
4）實驗性能：附著力測試、耐藥品性能、高溫實驗合格
5）膜厚一致性：以鋁靶為例，工裝有效高度1500mm內(nèi)，從上到下取9個點，測量膜厚，同一爐40nm左右時，膜厚偏差≤5nm，不同爐同一位置膜厚偏差≤5nm
6）顏色一致性：以鉻靶為例，工裝有效高度1500mm內(nèi)，從上到下取9個點，測量Lab值，同一爐色差≤2.5，不同爐同一位置色差≤1
7） 維持泵：萊寶、普發(fā)、愛德華或同等品牌，雙級旋片泵，抽速17L/s以上，數(shù)量1臺，配油霧過濾器
8）粗抽泵：萊寶、普發(fā)、愛德華或同等品牌，單級旋片泵，抽速200L/s以上，數(shù)量1臺
9）羅茨泵：萊寶、普發(fā)、愛德華或同等品牌，50Hz時抽速1900L/s以上，數(shù)量1臺，配變頻器（西門子、歐姆龍或同等品牌），使用頻率最高70Hz，可設(shè)置啟動真空度，頻率可在工藝參數(shù)里設(shè)置，待機狀態(tài)頻率10～15Hz
10）分子泵：大阪、島津或同等品牌，抽速≥4200L/s，數(shù)量3臺，配插板閥3只
11）低真空計：英福康、普發(fā)或同等品牌，測量范圍1.0E+5Pa∽5.0E-2Pa，數(shù)量4只安裝位置：真空室、冷阱、分子泵前級、硅油罐
12）高真空計：英?？?、普發(fā)或同等品牌，測量范圍1.0Pa∽2.0E-7Pa，數(shù)量2只（1只為測量真空，一只作為參考校準用），安裝位置：真空室頂部對稱安裝，帶高真空截止閥（VTD或安捷倫），可隨時開啟
13）轟擊電源：AE、Huttinger或同等品牌中頻電源，功率10kW，電壓最高1000V
14）升壓裝置：升壓倍數(shù)≥4
15）前燈裝飾框（材料PC 2407）遮鍍，表面鍍單金屬--鉻，不透光，設(shè)備滿載單爐時間≤13分鐘；
4.供應(yīng)商提供真空室布局圖，關(guān)鍵部位提供結(jié)構(gòu)圖紙，我方有權(quán)否決。
1.凡有意參加報名的供應(yīng)商，請至長城慧采云平臺注冊報名：地址為：https:****，注冊成功后可根據(jù)項目名稱，按報名要求進行報名，此方式為唯一報名途徑；
2.請在報名前確認貴司賬號下是否包含該項目對應(yīng)品類，否則將影響您報名！品類添加路徑：供應(yīng)商管理-基礎(chǔ)信息變更-新增-服務(wù)范圍，請完善所有必填項信息后再提交。
3.如無法在招標平臺完成注冊的，請及時聯(lián)系報名聯(lián)系人。
4.如對本項目有技術(shù)疑問或想了解更多詳細信息，可將問題分條描述清晰，發(fā)送至（****@gwm.cn）。郵件中請注明公司名稱、聯(lián)系人及聯(lián)系電話；
5.郵件主題須注明項目名稱、報名聯(lián)系人，如XX項目疑問XX收，將統(tǒng)一進行答疑回復(fù)。
1.報名供應(yīng)商未被“中國執(zhí)行信息公開網(wǎng)”列入失信名單；未被“國家企業(yè)信用信息公示系統(tǒng)”列入經(jīng)營異常名單。
報名前須自行詳細查看并判斷資質(zhì)及業(yè)績符合性后，再進行報名，投標意向金繳納后不予退還，若項目在招標過程中任意環(huán)節(jié)因招標方原因取消的，可辦理投標意向金退款（若供應(yīng)商已辦理開票將不予退款），如果不能準確判定可詢問報名負責人；
2.收費項目報名時需同步上傳交款憑證。
3.開票指南：
①登錄長城慧采云平臺-首頁-右上方公告信息-根據(jù)“長城慧采云平臺線上開票及系統(tǒng)填寫注意事項”申請線上開票（****開始交款的項目可以申請線上開票，且交款賬戶需要是8**** 0947 716）
②****之前交款的項目，需要下載開票模板，登錄長城慧采云平臺-首頁-右上方公告信息-“意向金開票信息模板”，按照要求填寫后將EXCEL版發(fā)至郵箱：****@gwm.cn，發(fā)票開具后直接將回復(fù)至郵箱中。
注：
①發(fā)票開具完成后，意向金不再退還。
②貴司提供發(fā)票信息后，大約25個工作日左右開具電子發(fā)票并發(fā)至郵箱，請耐心等待,若超過25個工作日未收到發(fā)票，請及時聯(lián)系相應(yīng)負責人，逾期未查收導(dǎo)致發(fā)票無法報銷的，不再重開。
其他：
①原則上以公司交款為準，即公對公賬戶；注冊成功后匯款至以上賬戶；
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③請不要相信任何個人或公司的交款要求，以防上當受騙！
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