| 項(xiàng)目名稱 | 磁控濺射鍍膜機(jī) | 項(xiàng)目編號(hào) | **** |
| 公告開始日期 | **** 15:49:48 | 公告截止日期 | **** 16:00:00 |
| 采購單位 | 點(diǎn)擊登錄查看 | 付款方式 | 貨到驗(yàn)收合格后付款 |
| 聯(lián)系人 | | 聯(lián)系電話 | |
| 簽約時(shí)間要求 | | 到貨時(shí)間要求 | 簽訂合同后90個(gè)工作日內(nèi) |
| 預(yù)算總價(jià) | ￥450000.00 |
| 發(fā)票要求 | |
| 含稅要求 | |
| 送貨要求 | |
| 安裝要求 | |
| 收貨地址 | 呼和浩特市****點(diǎn)擊登錄查看南校區(qū) |
| 供應(yīng)商資質(zhì)要求 | 符合《政府采購法》第二十二條規(guī)定的供應(yīng)商基本條件 |
| 公告說明 | |
| 采購商品 | 采購數(shù)量 | 計(jì)量單位 | 所屬分類 |
| 磁控濺射鍍膜機(jī) | 1 | 臺(tái) | 真空應(yīng)用設(shè)備 |
| 品牌 | 樂貝 |
| 型號(hào) | PVD500 |
| 預(yù)算單價(jià) | ￥ 450000.00 |
| 技術(shù)參數(shù)及配置要求 | 一、主要技術(shù)指標(biāo)及配置: 1 極限真空度：1×10-4Pa. 2 抽速：從大氣抽至 8.0×10-3Pa，≤15 分鐘(空爐、冷態(tài)) 從大氣抽至 3.0×10-3 Pa，≤30 分鐘(空爐、150℃) . 3.爐體結(jié)構(gòu)：框架式爐體結(jié)構(gòu)，爐體側(cè)面及上面均可根據(jù)不同使用需求安裝不同的功能單元，方便設(shè)備后期擴(kuò)展。 4.多種樣品臺(tái)模式：一維旋轉(zhuǎn)；二維旋轉(zhuǎn)；固定位置自轉(zhuǎn)；還可支持安裝粉料類包覆鍍膜治具。 5 壓升率：≤0.5Pa/小時(shí)； 6 樣品臺(tái)：直徑 200mm 公轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，樣品臺(tái)最高加熱溫度：300℃ 7電氣控制系統(tǒng)：PLC 全自動(dòng)控制，可運(yùn)行多種工藝設(shè)置。 二、PVD500 型真空鍍膜機(jī)主要配置： 1.真空機(jī)組：TRP90 直聯(lián)旋片泵（1臺(tái)），DN200 脂潤滑分子泵（1臺(tái)），ISO200 插板閥（1臺(tái)），GDQ65 型不銹鋼結(jié)構(gòu)前級(jí)閥、預(yù)抽閥、放氣閥（3只），SUS304 不銹鋼管道，波紋管（1套），光柵閥角度控制器 安裝在爐體抽氣口處，伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng) 0-90°旋轉(zhuǎn)式翻板結(jié)構(gòu)控制精度 0.5 度（1套）。 2. 真空室（爐體 總承)：1)爐體結(jié)構(gòu)為立式矩形結(jié)構(gòu) 。2)SUS304 不銹鋼焊接組成。 3)厚板拼接結(jié)構(gòu)，帶冷卻道 。4)真空室壁厚 25mm，外壁厚 6mm，上法蘭 25mm 下 蓋板厚 25 毫米，體框厚 32 毫米（加工后），爐 體后側(cè)為抽氣口 。5)爐體上蓋法蘭為三靶位 。6)爐體下蓋中心為工件轉(zhuǎn)盤接口及反應(yīng)氣體等接口（1套）。7)爐門中部為視窗，視窗帶防污玻璃。 8)真空室內(nèi)、外表面采用電解拋光技術(shù)，可長久 保持外觀效果，易于清潔。 9)掛裝式襯板，拆卸方便，可保證長時(shí)間高溫下 工作不變形，SUS304 不銹鋼，表面噴沙，防止 脫膜 內(nèi)襯板厚度為 2mm 2 套。 10)反應(yīng)氣體接入系統(tǒng)：6mm 不銹鋼管路，外卡套 安裝，方便調(diào)整及拆裝。 11)爐體支架：60*60*5 方鋼+100 槽鋼+冷軋?zhí)间?板焊接組成，爐體支架、氣管、水管、電線、 電纜橋架一體完成，表面噴塑防腐。 3. 加 熱 及 溫 度 測(cè)量：1 樣品臺(tái)加熱：爐體底板引入，安裝在樣品臺(tái)下方 不銹鋼鎧裝加熱器，總功率約 4KW；溫度控制范圍：100-300℃。2 爐體加熱：安裝在爐門及爐體抽氣口側(cè)壁，總功率約 4KW溫度控制范圍：100-200℃ 密封法蘭帶水冷結(jié)構(gòu)，防止膠圈過溫老化、損壞接線端子帶絕緣保護(hù)罩 溫度測(cè)控采用溫控表，可單獨(dú)、階段性控溫，PID控制。 4.樣品臺(tái)： 直徑 200mm 公轉(zhuǎn)樣品臺(tái) 1 套 磁流體密封主軸 帶偏壓引入接口 公轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速：0-10rpm。 5.電氣控制柜 主要器件： 接觸器、空開、斷路器 （施奈德） 繼電器 （魏德米勒） 溫控表 （泰矽） 變頻器 （三菱） 機(jī)柜、面板布線等 （1套）。 6.全 自 動(dòng) 電 氣 控制系統(tǒng)：三菱 FX 系列 PLC 邏輯控制器及功能模塊，15 寸觸 摸屏 1 套 主控單元可設(shè)置參數(shù)及工作點(diǎn)，并根據(jù)預(yù)設(shè)置工 藝流程，實(shí)現(xiàn)對(duì)整機(jī)全自動(dòng)、半自動(dòng)、及手動(dòng)控 制； 可設(shè)置并存儲(chǔ)多種工藝，用戶可根據(jù)不同產(chǎn)品需 求選擇調(diào)用； 程序帶密碼功能，可設(shè)置多級(jí)使用權(quán)限 監(jiān)控各泵、閥門工作狀態(tài)，故障發(fā)生時(shí)報(bào)警并作 出相應(yīng)處理； 監(jiān)控進(jìn)水管路及各靶(弧)回水管路水流，及時(shí)處 理并發(fā)出警示； 監(jiān)控冷卻水壓力變化，在壓力不足或過壓情況下 報(bào)警，以便系統(tǒng)故障處理 監(jiān)控偏壓電源、濺射電源等的電壓、電流 采集真空室內(nèi)真空度 監(jiān)控氣體流量 專業(yè)電磁兼容性設(shè)計(jì)，抗干擾能力強(qiáng)，無死機(jī)現(xiàn) 象 可與導(dǎo)電(泰矽)溫控表通訊，實(shí)現(xiàn)分段控溫 帶實(shí)時(shí)曲線、歷史曲線查詢功能（1套）。 7.濺射靶：直徑 75mm 圓盤狀磁控靶集成擋板，磁靶濺射角度 手動(dòng)可調(diào) 支持 RF 射頻濺射，強(qiáng)磁場(chǎng)設(shè)計(jì),高度方向靶基距： 40-100mm 手動(dòng)可調(diào) （3套） 8.濺射電源 DC-1000 直流電源 1 臺(tái) 吉兆源 9.偏壓電源 DiBIAS3K 脈沖偏壓電源 1 臺(tái) 派立特 10.RF 電源 PG-500 射頻電源 2 套 吉兆源。 |
| 參考鏈接 | |
| 售后服務(wù) | 技術(shù)支持:7x24小時(shí);保修期:一年;服務(wù)響應(yīng)時(shí)限:報(bào)修后2小時(shí);質(zhì)保期:一年;培訓(xùn)要求:培訓(xùn)兩次;是否含稅:國產(chǎn)含稅; |
信息來源：http://www.yuncaitong.cn/publish/****/20MBYSNH8O7H6R39.shtml
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2025年06月16日
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